光刻機(jī)是什么 光刻機(jī)是什么東西
2021-09-22 天奇生活 【 字體：大 中 小 】
光刻機(jī)又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機(jī)的種類可分為：接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。
光刻機(jī)的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上。然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。光刻機(jī)的制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，因此，世界上只有少數(shù)廠家掌握。
猜你喜歡
世界上第一個(gè)使用口罩的國家是哪個(gè)國家 世界上第一只口罩是誰發(fā)明的
19.4萬
古人有銀行嗎 古人怎么存錢
9.3萬
古人會(huì)避孕嗎 有哪些避孕方式
19.6萬
古人如何避暑 古人避暑有哪些
19.3萬
元宵節(jié)為什么不是法定節(jié)假日 為何元宵節(jié)不是法定節(jié)假日
12.1萬
趙高居然不是太監(jiān) 趙高原來不是太監(jiān)
18.3萬
朱元璋的錦衣衛(wèi)究竟有多可怕 朱元璋的錦衣衛(wèi)可怕嗎
11.1萬
古代寒門的門檻有多高 古代寒門的門檻到底有多高
15.5萬
古代放假為什么會(huì)比現(xiàn)在多 古代放假有哪些節(jié)日可放
16.1萬
大唐“耙耳朵”第一人是誰 誰是大唐“耙耳朵”第一人
8.9萬
光刻機(jī)是什么 光刻機(jī)是什么東西
光刻機(jī)是什么
光刻機(jī)是干什么用的 光刻機(jī)是誰發(fā)明的
什么安全是立國之基
宕機(jī)是什么意思，宕機(jī)是什么意思怎么讀
刷機(jī)是什么意思 什么是刷機(jī)
